高溫真空（kōng）氣氛（fēn）爐是在真空環境中（zhōng）進行加熱的（de）設備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空係統、供電（diàn）係統和控溫係統等組成。高溫（wēn）真空氣氛爐按加熱（rè）元件分為真空電阻爐、真空（kōng）感（gǎn）應爐（lú）、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電（diàn）子束爐和等離子爐等。

　　高溫真空氣氛爐一般在春秋季節泄漏故障較多，長期閑置的高溫真空氣氛爐在才次使用時高溫真空氣氛爐泄漏故障比較易發生。這時間就必須進行真空檢漏，真空（kōng）檢（jiǎn）漏一般采取每月一次測（cè）壓升率(在常溫下，關閉所（suǒ）有真空閥，停止真空係（xì）統運（yùn）轉，10min後讀一個（gè）數，1h後再讀一個數，兩數之差（chà）是壓升率的數值)，掌（zhǎng）握設備泄漏變化趨勢（shì），如真空設（shè）備連續停機一個禮拜，要空運轉一次（進行烘爐）。